تطبيقات محددة لمنظفات البلازما

تقوم آلات التنظيف/النقش بالبلازما بتوليد البلازما عن طريق وضع قطبين كهربائيين في حاوية مغلقة لإنشاء مجال كهربائي. يتم استخدام مضخة فراغ للحفاظ على مستوى فراغ معين. ومع تزايد تخلخل الغاز، تزداد أيضًا المسافة بين الجزيئات وحرية حركة الجزيئات أو الأيونات. وتحت تأثير المجال الكهربائي، تصطدم هذه الأيونات لتشكل البلازما. هذه الأيونات شديدة التفاعل، ولديها طاقة كافية لكسر جميع الروابط الكيميائية تقريبًا، مما يؤدي إلى حدوث تفاعلات كيميائية على أي سطح مكشوف. بلازما الغاز المختلفة لها خصائص كيميائية مختلفة. على سبيل المثال، بلازما الأكسجين شديدة الأكسدة، قادرة على أكسدة مقاوم الضوء لإنتاج الغاز، وبالتالي تحقيق تأثير التنظيف. تتميز بلازما الغاز المسببة للتآكل بتباين ممتاز، مما يلبي متطلبات النقش. ينتج العلاج بالبلازما توهجًا، ومن هنا جاء اسم تفريغ التوهج.
تعتمد آلية تنظيف البلازما بشكل أساسي على "تفعيل" الجزيئات النشطة في البلازما لإزالة البقع السطحية. فيما يتعلق بآلية التفاعل، يتضمن تنظيف البلازما عمومًا العملية التالية: إثارة الغازات غير العضوية إلى حالة البلازما؛ يتم امتصاص المواد الغازية على السطح الصلب. تتفاعل المجموعات الممتزة مع الجزيئات الموجودة على السطح الصلب لتكوين جزيئات المنتج؛ تتحلل جزيئات المنتج إلى الطور الغازي؛ وتتم إزالة بقايا التفاعل من السطح.

الميزة الأكثر أهمية لتقنية تنظيف البلازما هي أنها يمكنها معالجة أي نوع من الركيزة، بما في ذلك المعادن وأشباه الموصلات والأكاسيد ومعظم مواد البوليمر مثل البولي بروبيلين والبوليستر والبوليميد والبولي فينيل كلورايد والإيبوكسي وحتى بولي تترافلوروإيثيلين. يمكنه تنظيف السطح بأكمله ومناطق محددة، بالإضافة إلى الهياكل المعقدة.