معدات بلازما الترددات اللاسلكية لتطبيقات أشباه الموصلات

معدات بلازما الترددات اللاسلكية لتطبيقات أشباه الموصلات هي وحدة تنظيف متخصصة مصممة لعمليات تعبئة أشباه الموصلات المتقدمة ومعالجة الأسطح. يتميز الجهاز بخزانة متينة مصنوعة من الفولاذ عالي الجودة-، مع طبقة نهائية من مسحوق الطلاء -المتجعد باللون الأبيض، مما يوفر المتانة والمظهر الصناعي النظيف. يتم تصنيع حجرة التفريغ الرئيسية من صفائح الألومنيوم عالية النقاء- بسماكة لا تقل عن 25 مم، مما يضمن أداء إغلاق ممتازًا وثباتًا هيكليًا طويل الأمد-. أبعاد الغرفة الداخلية هي 450 × 450 × 450 مم، ومجهزة بلوحة قطب كهربائي مغلقة بالكامل مكونة من قطعة واحدة - بقياس 410 × 430 مم. يتم وضع سلال العمل مباشرة على لوحة القطب الكهربائي، التي تتصل بقاعدة القطب الكهربائي النحاسي من خلال قابس-في التصميم، مما يضمن توليد بلازما فعال ومستقر أثناء التشغيل.

يتم التحكم في النظام عن طريق منصة PLC، مما يسمح بالتبديل السلس بين الوضعين اليدوي والأوتوماتيكي بالكامل. يمكن تكوين جميع معلمات التشغيل وتعديلها وتخزينها ومراقبتها في الوقت الفعلي. تعمل حلقة التحكم PID المدمجة على تعزيز الثبات والدقة. يمكن حفظ وصفات العمليات المتعددة واسترجاعها حسب الحاجة، وهو أمر مفيد بشكل خاص للبيئات التي تتطلب تغييرات متكررة في العمليات. يتم تشغيل نظام التفريغ بواسطة مجموعة مضخة جافة، مما يوفر سرعة ضخ سريعة، مع وصول الغرفة عادةً إلى مستوى التفريغ المطلوب خلال 100 ثانية.